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产品介绍
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产品介绍
三个只是正常展示,以下可添加更多产品系列
快速退火设备
▸ 注入后退火
▸ 氧化、氮化
▸ PDP膜层固化
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晶圆键合设备
通过化学和物理作用将两块已镜面抛光的同质或异质的晶圆紧密的永久结合起来。晶圆结合后,界面的原子受外力的作用而产生反应形成共价键合成一体,并使结合界面达到特定的键合强度。
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键合工艺量检测
▸ 键合空洞检测和筛选
▸ 键合能检测和记录
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